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文章介绍了中国IC制造业的机会，阐明光刻技术是实现晶体管微缩的关键，其就像照片放大机的原理，光刻技术将IC电路图印在晶圆上。
携手提升中国半导体IC先进制造工艺
【摘 要】
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文章介绍了中国IC制造业的机会，阐明光刻技术是实现晶体管微缩的关键，其就像照片放大机的原理，光刻技术将IC电路图印在晶圆上。
【机 构】
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ASML中国分公司
【出 处】
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2016中国集成电路产业发展研讨会暨第十九届中国集成电路制造年会
【发表日期】
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2016年9期
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