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本文简要综述了相移技术的原理及应用.介绍了相移技术在光刻技术的应用.叙述了两种相移干涉仪的结构及应用;在数字全息技术中消除零级项,提高全息像的空间频率;相移技术用于频闪测量进行了微机器(MEMS)动态测量.
光学相移技术
【摘 要】
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本文简要综述了相移技术的原理及应用.介绍了相移技术在光刻技术的应用.叙述了两种相移干涉仪的结构及应用;在数字全息技术中消除零级项,提高全息像的空间频率;相移技术用于
【机 构】
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天津大学精密仪器与光电信息工程学院,天津,300072
【出 处】
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2005年全国光电技术学术交流会暨第十七届全国红外科学技术交流会
【发表日期】
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2005年期
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