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本文提出了一种用加热金属铂丝作为敏感单元的MEMS矢量水听器设计原理,该水听器主要用于测量声场质点振速信号。针对水听器灵敏度等性能优化难点问题,探讨其声-热-电多物理场能量转换机理,仿真计算不同金属铂丝间距等对水听器灵敏度的影响参数,优化敏感单元参数设计,提升MEMS矢量水听器接收性能。
基于热敏感的MEMS矢量水听器机理研究
【摘 要】
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本文提出了一种用加热金属铂丝作为敏感单元的MEMS矢量水听器设计原理,该水听器主要用于测量声场质点振速信号。针对水听器灵敏度等性能优化难点问题,探讨其声-热-电多物理场
【机 构】
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中国电子科技集团公司第三研究所; 哈尔滨工程大学水声工程学院;
【发表日期】
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2004年期
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