表面元素成像是原子光谱的重要研究方向，辉光放电是常见的原子光谱成像分析所采用的激发方式。火花放电原子发射光谱也可用于直接分析固体样品元素组成，但由于其放电过程不连续，难以用于连续的表面元素成像分析。本文通过对一段时间的火花放电次数和放电发光强度的统计分析，推测高频的火花放电可用于表面元素成像分析，并进行了相关成像研究。结果 表明，高频火花放电在统计上存在一定的稳定性，用于表面元素成像时，空间分辨率可达数十微米。火花放电原子光谱成像除了由样品表面的元素组成决定外，还受样品表面的起伏状况影响。利用这个原理，对成分均匀的样品，可通过发光强度获得表面的形貌图；对表面平坦的样品，则可获得样品表面的元素分布图。该成像方式所需设备简单，易于实现，是一种对原子光谱成像方法的有益探索。