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该文首次报导了用溶胶－凝胶法制备出ＺＢ／Ｓｉ（１１１）／Ｐｔ薄膜，并研究了经在同一温度下不同退火时间处理的薄膜的Ｉ－Ｖ特性和薄膜相结构。通过制备薄膜可得到很低的压敏电压，压敏电压随退火时间的增加变小，非线性变差。
Sol-Gel法制备低压ZB系压敏薄膜
【摘 要】
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该文首次报导了用溶胶－凝胶法制备出ＺＢ／Ｓｉ（１１１）／Ｐｔ薄膜，并研究了经在同一温度下不同退火时间处理的薄膜的Ｉ－Ｖ特性和薄膜相结构。通过制备薄膜可得到很低的压敏电压，压敏电压随退火时间的增加变小
【机 构】
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科学院新疆物理所(乌鲁木齐)
【出 处】
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1998年中国材料研讨会
【发表日期】
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1998年期
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