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介绍高K材料引入的必要性及国内外的研究进展。分析了使用于做栅介质材料的种类。提出了高K栅介质材料研究中需要进一步解决的问题。
高K栅介质材料的研究进展
【摘 要】
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介绍高K材料引入的必要性及国内外的研究进展。分析了使用于做栅介质材料的种类。提出了高K栅介质材料研究中需要进一步解决的问题。
【机 构】
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温州大学物理电子信息学院
【出 处】
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2009上海半导体材料学术年会
【发表日期】
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2009年期
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