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X-射线衍射法是诊断薄膜外延生长及外延取向的有力工具.本文将介绍两种φ扫描方法和极图法,讨论它们能给出的各种信息,比较它们的优缺点.
用于外延生长氧化物薄膜诊断的X-射线衍射法
【摘 要】
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X-射线衍射法是诊断薄膜外延生长及外延取向的有力工具.本文将介绍两种φ扫描方法和极图法,讨论它们能给出的各种信息,比较它们的优缺点.
【机 构】
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北京大学物理系(北京)
【出 处】
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第六届全国超导电子器件学术会议
【发表日期】
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2001年7期
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