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为了解决镀膜材料力学性能难测试的问题,提出以Oliver-Pharr模型为基础的位移敏感压痕技术来评价膜的硬度及弹性模量.为了解其可靠性,将此方法用于普通玻璃和不锈钢作为参考标准,并用日本KEYENCE产VHX-600E数码显微镜分析了压痕形貌.实验以0.5N/s的载荷速度进行加卸载,载荷峰值均取10N,结果表明：位移敏感压痕法计算出的普通玻璃和不锈钢的硬度分别为6.5587Gpa和1.6807Gpa,传统显微硬度计测试出的结果分别为5.4902Gpa和1.7351Gpa,其值比较接近；此方法计算出普通玻璃和不锈钢的弹性模量分别为65.1637Gpa和178.3558Gpa,与实际值70Gpa和190Gpa误差很小；SiC硬质厚膜硬度和弹性模量计算结果为37.7559Gpa和456.3886Gpa.此方法可广泛用于评价硬质厚膜的硬度和弹性模量等力学性能.