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综述了超临界流体技术在微电子,航空航天及新材料等高新技术产业中的应用,包括:精密清洗,干燥,化学沉积,光刻蚀及纳米复合材料方面的应用.
应用于高新技术产业的超临界流体技术
【摘 要】
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综述了超临界流体技术在微电子,航空航天及新材料等高新技术产业中的应用,包括:精密清洗,干燥,化学沉积,光刻蚀及纳米复合材料方面的应用.
【机 构】
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清华大学化学工程系,北京,10008
【出 处】
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第三届全国超临界流体技术学术及应用研讨会
【发表日期】
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2000年10期
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