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提出了一种新型的基于SOI材料的亚微米间隙平面电容式谐振器,描述了结构以及工作原理。对谐振器结构进行仿真分析,研究关键工艺,并成功在北京大学微米纳米加工实验室制作出亚微米间隙平面电容式单晶硅谐振器。
挠性双端固支梁MEMS谐振器研究
【摘 要】
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提出了一种新型的基于SOI材料的亚微米间隙平面电容式谐振器,描述了结构以及工作原理。对谐振器结构进行仿真分析,研究关键工艺,并成功在北京大学微米纳米加工实验室制作出亚
【机 构】
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北京大学微电子学研究研究院,北京100871
【出 处】
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2008年全国频率控制技术年会
【发表日期】
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2008年11期
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