【摘 要】
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130fs、800nm、0.7mJ的激光脉冲经过光学参量放大系统后可以在近紫外到红外光的范围内改变其波长。本文利用10倍的显微物镜将近红外激光脉冲汇聚到宽带隙半导体材料6H SiC的
【机 构】
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中山大学光电材料与技术国家重点实验室,510275,广州市新港西路135号
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130fs、800nm、0.7mJ的激光脉冲经过光学参量放大系统后可以在近紫外到红外光的范围内改变其波长。本文利用10倍的显微物镜将近红外激光脉冲汇聚到宽带隙半导体材料6H SiC的前表面,研究在飞秒激光照射下样品烧蚀及诱导微细结构的物理机制。烧蚀斑用光学显微镜测量,利用烧蚀面积与激光脉冲能量的线性关系,确定了SiC的烧蚀阈值。
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