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本文介绍了工序能力指数的基本概念,阐述了在混合集成电路生产线中实施CPK评价的实践和流程,指出了存在的问题,并从工序能力分析的角度论述了6σ设计目标。
工序能力指数CPK评价在混合集成电路生产线中的实践与应用
【摘 要】
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本文介绍了工序能力指数的基本概念,阐述了在混合集成电路生产线中实施CPK评价的实践和流程,指出了存在的问题,并从工序能力分析的角度论述了6σ设计目标。
【机 构】
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中国电子科技集团公司第43研究所,合肥,230022
【出 处】
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第十四届全国混合集成电路学术会议
【发表日期】
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2005年期
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