【摘 要】
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本研究以α-溴代苯乙酮、四氢噻吩、三氟甲磺酸及九氟丁基磺酸钾等为原料,制备了两种硫鎓盐化合物.由于这类产物在应用中对金属离子含量的要求极高,实验中反复进行了纯化.并且使用石英、聚四氟乙烯器皿以减少金属离子的引入.目前已将产物的金属离子含量控制在了ppm水平.这类硫鎓盐可作为光产酸剂应用于化学增幅型248-nm光致抗蚀剂材料.
【机 构】
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北京师范大学化学学院,北京100875
【出 处】
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中国感光学会第八届五次理事会暨2013年学术年会
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本研究以α-溴代苯乙酮、四氢噻吩、三氟甲磺酸及九氟丁基磺酸钾等为原料,制备了两种硫鎓盐化合物.由于这类产物在应用中对金属离子含量的要求极高,实验中反复进行了纯化.并且使用石英、聚四氟乙烯器皿以减少金属离子的引入.目前已将产物的金属离子含量控制在了ppm水平.这类硫鎓盐可作为光产酸剂应用于化学增幅型248-nm光致抗蚀剂材料.
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