【摘 要】
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为确定单室高效太阳电池的沉积参数,用甚高频等离子体增强化学气相沉积(VHF-PECVD)技术制备了不同沉积条件下的本征微晶硅薄膜,并研究其结构及电学输运特性。选择器件质量级
【机 构】
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南开大学光电子薄膜器件与技术研究所,南开大学光电子薄膜器件与技术天津市重点实验室,光电信息技术科学教育部重点实验室(南开大学,天津大学),天津 300071
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为确定单室高效太阳电池的沉积参数,用甚高频等离子体增强化学气相沉积(VHF-PECVD)技术制备了不同沉积条件下的本征微晶硅薄膜,并研究其结构及电学输运特性。选择器件质量级的本征微晶硅薄膜作为电池的有源层,针对单室沉积微晶硅薄膜太阳电池进行了污染控制的初步研究,使单腔室中制备的单结微晶硅电池的光电转换效率提高到6.17％(1cm2)。
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