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双频容性耦合等离子体无碰撞电子反弹共振加热研究
【机 构】
：
大连理工大学 物理与光电工程学院,大连,116024 华中科技大学 物理学院 武汉 430074
【出 处】
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中国物理学会2011年秋季学术会议
【发表日期】
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2011年9期
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