针对激光加载直接驱动中的状态方程、流体力学不稳定性和准等熵压缩等实验的需求，制备各种材料、构型与参数的实验用靶。阻抗匹配靶实验是激光状态方程研究中最常用的方法，它以某种状态方程已知的材料(通常为铝)作为标准，和待测材料(铜、金、铁或CH等)组成，厚度在几十微米。分别采用两种方法制备，第一种为精密镶嵌工艺将微米量级的标准材料和待测材料复合阻抗匹配靶，第二种通过单点金刚石车削结合电子束蒸发工艺制备阻抗匹配靶。氢同位素是ICF中的燃料物质，其液态下的状态方程是重要的参数，为此制备平面低温冷冻靶，靶的直径为几毫米，厚度几百微米。流体力学不稳定实验最常用的是调制靶，其核心工艺为调制图形的加工，采用激光刻蚀、单点金刚石车削等方法加工调制图形。等熵压缩实验中的铝/氟化锂台阶复合是靶制备的难点，采用单点金刚石车削在氟化锂表面加工微米量级台阶，然后蒸镀几十微米的高致密性铝膜，再将凸起铝膜表面车平整而获得铝/氟化锂台阶复合靶。本文主要介绍阻抗匹配靶、液氘平面冷冻靶、调制靶和铝/氟化锂台阶复合靶等靶型的制备方法。