本文通过研究辉光放电等离子体原子发射光谱机理，设计开发了高性能等离子体发射光谱气体传感器，实现了0-10ppm微量氮的可靠检测。重点解决高稳定性高频高压交流激励源、精密样品池、高稳定性小流量气体控制、高灵敏度紫外检测器、弱信号提取、光谱识别、高密封气路系统、过载甄别等技术难点。基于等离子发射光谱法的在线微量氮气检测方法设计制造的微量氮气体分析器具有测量精度高，漂移小，稳定性好，抗干扰能力强等优点，能监测量高纯氢气中0-10ppm的杂质氮气，采用了样品气体稳流设计:实现测量信号不随样气流量和压力变化影响;高频率高电压电源稳定性优良，激发光源稳定;原子发光光谱法测量NZ的传感器技术，环保无污染。本仪器的成功研制，既解决了工业现场高纯氩气的纯度检测，也可以为扩展其他气体应用或色谱领域提供有用的设计经验。