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该文简述微波／毫米波电路的微小型过程、现状和发展趋势。指出微波／毫米波单片集成电路（ＭＩＭＩＣ）和微电子机械系统（ＭＥＭＳ）相结合将会开拓科技新领域及各种应用的美好前景。予计，将来微波／毫米波电路必然向着纳米（ｎｍ）电子器件及系统发展。
微波毫米波电路微小型化的发展趋势
【摘 要】
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该文简述微波／毫米波电路的微小型过程、现状和发展趋势。指出微波／毫米波单片集成电路（ＭＩＭＩＣ）和微电子机械系统（ＭＥＭＳ）相结合将会开拓科技新领域及各种应用的美好前景。予计，将来微波／毫米波电
【机 构】
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工业第二十九研究所(成都)
【出 处】
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1999年全国微波毫米波会议
【发表日期】
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1999年10期
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