【摘 要】
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由于压电陶瓷微位移器的迟滞特性直接影响超精密微定位工作台的定位精度,采用Preisach模型对其迟滞特性进行数学建模,并进行了相应的实验研究和验证.实验结果表明,采用Preisach模型,WTYD型压电陶瓷在Preisach模型的电压划分点上的最大误差为0.14μm,不在Preisach模型的电压划分点上的最大误差为0.33μm;在整个行程内,最大迟滞从18.3﹪降到3.9﹪.采用Preisach
【机 构】
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浙江大学机械工程系,杭州,310027 杭州电子科技大学机械工程系,杭州,310027
【出 处】
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全国高校机械工程测试技术研究会、中国振动工程学会动态测试专业委员会2004年代表大会暨学术年会
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由于压电陶瓷微位移器的迟滞特性直接影响超精密微定位工作台的定位精度,采用Preisach模型对其迟滞特性进行数学建模,并进行了相应的实验研究和验证.实验结果表明,采用Preisach模型,WTYD型压电陶瓷在Preisach模型的电压划分点上的最大误差为0.14μm,不在Preisach模型的电压划分点上的最大误差为0.33μm;在整个行程内,最大迟滞从18.3﹪降到3.9﹪.采用Preisach模型可以有效地改善压电陶瓷微位移器的迟滞,电压划分等数越多模型的预测位移精度越高.
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