【摘 要】
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本文分析了一种利用等离子波的新型亚波长槽形波导结构,该结构横向上利用金属-介质-金属(MIM)结构激励出等离子波来限制场,在纵向上用三层介质波导结构来限制场。采用全矢量
【机 构】
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浙江大学信息与电子工程学系,浙江杭州 310027
【出 处】
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全国第十三次光纤通信暨第十四届集成光学学术会议
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本文分析了一种利用等离子波的新型亚波长槽形波导结构,该结构横向上利用金属-介质-金属(MIM)结构激励出等离子波来限制场,在纵向上用三层介质波导结构来限制场。采用全矢量有限差分方法分析了该结构的内在特性,异质金属墙结构可以大大减少损耗,在芯层尺寸结构200nm×800nm时,其传播长度可以达到35.8μm,而横向模式尺寸为200nm,两者之比超过170。该结构在纵向上有较强的场限制特性,为小尺寸高度集成光学器件提供了一种新的结构。
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