【摘 要】
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实验研究使用添加剂来改进NaOH水溶液中单晶硅绒面加工质量稳定性的工艺方法.所使用的添加剂可以改善晶体硅表面与NaOH水溶液的湿润亲和,提高绒面上角锥体的覆盖率.另外,该种添加剂对腐蚀液中OH离子从腐蚀液向反应界面的输运过程具有缓冲作用,使在大批量腐蚀加工单晶硅绒面对,溶液中NaOH含量具有较宽的工艺容差范围,从而提高了产品工艺加工质量的稳定性.
【机 构】
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昆明光伏科技有限公司(昆明);云南师范大学太阳能研究所(昆明) 云南师范大学太阳能研究所(昆明)
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实验研究使用添加剂来改进NaOH水溶液中单晶硅绒面加工质量稳定性的工艺方法.所使用的添加剂可以改善晶体硅表面与NaOH水溶液的湿润亲和,提高绒面上角锥体的覆盖率.另外,该种添加剂对腐蚀液中OH<->离子从腐蚀液向反应界面的输运过程具有缓冲作用,使在大批量腐蚀加工单晶硅绒面对,溶液中NaOH含量具有较宽的工艺容差范围,从而提高了产品工艺加工质量的稳定性.
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