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由于硅-硅键合对环境要求比较苛刻,从而使得该技术的推广应用受到了很大的限制.该文报道了无水乙醇气氛下的SDB方法成功实现了低超净环境下的硅-硅键合,最后给出了理论解释,是一种颇有吸引力的硅-硅直接键合技术.
低超净环境下的硅/硅直接键合技术的初步研究
【摘 要】
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由于硅-硅键合对环境要求比较苛刻,从而使得该技术的推广应用受到了很大的限制.该文报道了无水乙醇气氛下的SDB方法成功实现了低超净环境下的硅-硅键合,最后给出了理论解释,
【机 构】
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北京工业大学电子信息与控制工程学院
【出 处】
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第十届全国光电技术与系统学术会议
【发表日期】
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2003年期
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