基于波长扫描数字全息的微结构表面检测技术

来源 :2017全国第十三届精密工程学术研讨会暨精密机械分会理事会七届一次会议 | 被引量 : 0次 | 上传用户：the4eye

【摘要】

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Micro-structured surfaces are widely used in modern opto-electronics components.But themeasurement and characterization of the micro-structures on the imprinted thin films is still a challengingtask i

【作者】

：

张祥朝张晓磊徐敏

【机构】

：

复旦大学光科学与工程系

【出处】

：

2017全国第十三届精密工程学术研讨会暨精密机械分会理事会七届一次会议

【发表日期】

：

2017年6期

【关键词】

：

micro-structures spectral phase shifting digital holography interferometry

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