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本文研究了自约束零收缩LTCC基板材料中微晶玻璃、常规非晶态玻璃的配方；不同微晶玻璃与氧化铝粉末比例，对锁紧层结构以及烧结后基板弯曲程度的影响，最后得到了烧结后致密的自约束零收缩LTCC基板材料。
自约束零收缩LTCC基板材料研究
【摘 要】
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本文研究了自约束零收缩LTCC基板材料中微晶玻璃、常规非晶态玻璃的配方；不同微晶玻璃与氧化铝粉末比例，对锁紧层结构以及烧结后基板弯曲程度的影响，最后得到了烧结后致密的
【机 构】
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电子科技大学微电子与固体电子学院,四川 610054
【出 处】
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第十七届全国混合集成电路学术会议
【发表日期】
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2011年期
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