【摘 要】
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针对传统玻璃衬底CIGS电池通常存在Mo薄膜表面裂痕较多,有明显的脱落现象,本文从薄膜应力平衡的角度出发,提出一种适用于PI衬底的非传统的复合背电极结构,平衡薄膜间残余应力
【机 构】
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天津市光电子薄膜器件与技术重点实验室,南开大学信息技术科学学院,天津300071
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针对传统玻璃衬底CIGS电池通常存在Mo薄膜表面裂痕较多,有明显的脱落现象,本文从薄膜应力平衡的角度出发,提出一种适用于PI衬底的非传统的复合背电极结构,平衡薄膜间残余应力过大的问题,同时分析该背电极结构的相关特性.
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