【摘 要】
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Background, Motivation and Objective Tissue Harmonic Imaging (THI) is a widespread technique in medical ultrasonography. However, current commercial piezoelectric transducers for THI are designed to h
【机 构】
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Department of Micro- and Nanotechnology, Technical University of Denmark, Kgs. Lyngby, Denmark
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Background, Motivation and Objective Tissue Harmonic Imaging (THI) is a widespread technique in medical ultrasonography. However, current commercial piezoelectric transducers for THI are designed to have a center frequency between the excitation frequency and the generated second harmonics, resulting in a bandwidth-limited signal. The Capacitive Micromachined Ultrasonic Transducer (CMUT) facilitates the possibility of separate transmit and receive optimization. In order to generate harmonics, CMUTs must be able to transmit a high pressure. The objective is therefore to fabricate CMUTs optimized for THI with different transmit and receive cells, using Ni-electroplating to add mass to the transmit cells. This decreases the center frequency and increases the output pressure of the transmit cells.
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