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<正>我们设计并开发了一种基于硫醇点击化学的新型紫外光刻胶,并成功将其应用于纳米压印中。该紫外光刻胶主要成分包括含巯基的低倍多聚笼状硅氧烷化合物(POSS-SH),反应性单体甲基丙烯酸苄脂(BMA),及交联剂三羟甲基丙烷三甲基丙烯
基于硫醇点击化学的新型紫外纳米压印胶
【摘 要】
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<正>我们设计并开发了一种基于硫醇点击化学的新型紫外光刻胶,并成功将其应用于纳米压印中。该紫外光刻胶主要成分包括含巯基的低倍多聚笼状硅氧烷化合物(POSS-SH),反应性单
【机 构】
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上海交通大学化学化工学院;
【发表日期】
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2004年期
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