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本文介绍了一种新型的硅微机械F-P腔可变衰减器,针对其性能从机械结构、电场等几方面进行了分析.
硅微机械F-P腔可变衰减器
【摘 要】
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本文介绍了一种新型的硅微机械F-P腔可变衰减器,针对其性能从机械结构、电场等几方面进行了分析.
【机 构】
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北京理工大学光电工程系(北京)
【出 处】
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全国第十次光纤通信暨第十一届集成光学学术会议
【发表日期】
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2001年期
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