【摘 要】
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本文以Al2O3为例，详细介绍其EBSD样品制备的过程以及在磨抛过程中EBSP花样的变化。将尺寸为3×4mm的A12O3压片陶瓷进行镶嵌后，采用标准机械抛光流程对样品进行制备，每一步骤结束后立即对样品表面的平整度进行观察并采集其菊池花样，然后进行下一道次的抛光和观察，以此类推直至样品完成最终的振动抛光和花样观察。样品经不同抛光程序后的背散射图像，前向散射图像，菊池花样以及完成振动抛光后的IPF图。
【机 构】
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牛津仪器纳米分析部,牛津仪器(上海)有限公司,上海200233 NanoAnalysis, Oxf
【出 处】
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第十五届全国金相与显微分析学术年会
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本文以Al2O3为例，详细介绍其EBSD样品制备的过程以及在磨抛过程中EBSP花样的变化。将尺寸为3×4mm的A12O3压片陶瓷进行镶嵌后，采用标准机械抛光流程对样品进行制备，每一步骤结束后立即对样品表面的平整度进行观察并采集其菊池花样，然后进行下一道次的抛光和观察，以此类推直至样品完成最终的振动抛光和花样观察。样品经不同抛光程序后的背散射图像，前向散射图像，菊池花样以及完成振动抛光后的IPF图。其中背散射图像是样品在0°倾斜的状态下利用背散射探头采集而得，前向散射图像则是样品在70°倾斜状态下利用安装在EBSD探头上下以及侧边的前向散射器(FSD)采集而得。经过9μm抛光后，背散射图像显示样品表面除了少数颗粒脱落之外整体较为平整，但FSD图像显示样品表面有大量划痕且凹凸不平，虽然隐约可见EBSP但不能被软件所标定;随着抛光的不断进行，样品表面划痕消失且起伏程度减小，EBSP也逐渐清晰;当抛光进行到硅溶胶时，样品表面已经相当平整，EBSP花样完整清晰;再经过120min的振动抛光后，花样质量并未见明显提高。由此可见，对于Al2O3陶瓷而言，采用标准的机械抛光手段即可获得优秀的EBSD数据而无需再进行长时间的振动抛光。
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