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介绍了MEMS CAD的特点及MEMS与微系统的设计方法,对MEMS CAD系统中的系统级、器件行为级、器件物理级及工艺级等各级仿真器的特点、相互关系及在MEMS CAD中的作用进行了分析,并对MEMS CAD方法、MEMS与微系统的EDA工具进行了综述。
MEMS及微系统的计算机模拟与辅助设计
【摘 要】
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介绍了MEMS CAD的特点及MEMS与微系统的设计方法,对MEMS CAD系统中的系统级、器件行为级、器件物理级及工艺级等各级仿真器的特点、相互关系及在MEMS CAD中的作用进行了分析,
【机 构】
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哈尔滨工业大学;
【发表日期】
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2004年期
【基金项目】
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国家863高技术研究发展计划资助项目(2003AA404014)
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