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氦质谱正压检漏的定量性检测
氦质谱正压检漏的定量性检测
来源 :中国真空学会质谱与检漏专委会第十届年会中国计量测试学会真空校准专委会第五届年会 | 被引量 : 0次 | 上传用户:wlxqzs
【摘 要】
:
本文讨论了运用气罩积累法可解决氦质谱正压检漏中的定量性检测.针对生产中常见的被检件总结了几种检测方法.
【作 者】
:
杨智涵
【机 构】
:
首都航天机械公司
【出 处】
:
中国真空学会质谱与检漏专委会第十届年会中国计量测试学会真空校准专委会第五届年会
【发表日期】
:
2001年4期
【关键词】
:
氦质谱正压检漏
定量性检测
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本文讨论了运用气罩积累法可解决氦质谱正压检漏中的定量性检测.针对生产中常见的被检件总结了几种检测方法.
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