【摘 要】
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金属铪具有较高的热中子吸收截面(105±5 barn/atom)和耐高温腐蚀性能是原子反应堆最理想的控制材料,大量用作核反应堆的控制棒[1].氧化铪光学薄膜是优异的抗紫外激光破坏材料[2].在众多的高K(高介电常数)材料中,HfO2和Hf基介质材料是公认的最具前景的替代SiO2的栅介质材料[3].
【机 构】
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北京有色金属研究总院稀有金属冶金材料研究所,北京,100088 浙江锆谷科技有限公司,浙江,湖州,
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金属铪具有较高的热中子吸收截面(105±5 barn/atom)和耐高温腐蚀性能是原子反应堆最理想的控制材料,大量用作核反应堆的控制棒[1].氧化铪光学薄膜是优异的抗紫外激光破坏材料[2].在众多的高K(高介电常数)材料中,HfO2和Hf基介质材料是公认的最具前景的替代SiO2的栅介质材料[3].
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