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介绍了等离子体发生器化学气相反应法(CVD)的工作原理和直流电弧主电路，并对此法制备金属纳米和金属纳米氧化物过程中温度、颗粒形态的控制进行了分析。
等离子体发生器制备纳米微粒简介
【摘 要】
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介绍了等离子体发生器化学气相反应法(CVD)的工作原理和直流电弧主电路，并对此法制备金属纳米和金属纳米氧化物过程中温度、颗粒形态的控制进行了分析。
【机 构】
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北京山川联合纳米科技有限公司，北京密云 101500
【出 处】
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第三届中国(西安)纳米科技研讨会
【发表日期】
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2004年期
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