ISO1.5级(0.1μm1级)洁净室设计与施工

来源 :第13届全国暖通空调技术信息网大会 | 被引量 : 0次 | 上传用户：zhao330300096

【摘要】

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介绍一个工程，其中包括IS01.5级(O.1μm1级)工作间三间，有两个工作间要求温度波动每小时不超过0.1℃。运行一年多情况良好。

【作者】

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【机构】

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信息产业电子第十一设计研究院有限公司

【出处】

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第13届全国暖通空调技术信息网大会

【发表日期】

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2005年期

【关键词】

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介绍一个工程，其中包括IS01.5级(O.1μm1级)工作间三间，有两个工作间要求温度波动每小时不超过0.1℃。运行一年多情况良好。

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