(ZrTANbTiW)N薄膜组织结构与机械性能研究

来源 :第四届高能束加工技术国际学术会议 | 被引量 : 0次 | 上传用户：l398655579

【摘要】

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采用多靶磁控溅射与氮等离子体基离子注入技术制备了多元(ZrTANbTiW)N薄膜,对薄膜的组织结构及硬度进行了研究.结果表明:薄膜的化学成分主要受到样品距靶距离的影响:ZrTANbTi

【作者】

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冯兴国唐光泽马欣新孙明仁

【机构】

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哈尔滨工业大学先进焊接与连接国家重点实验室,黑龙江哈尔滨150001哈尔滨工业大学空间材料及环境工程国家级重点实验室,黑龙江哈尔滨150001哈尔滨工业大学先进焊接与连接国家重点实验室,黑龙江哈尔滨1

【出处】

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第四届高能束加工技术国际学术会议

【发表日期】

：

2012年9期

【关键词】

：

多元氮薄膜组织结构机械性能化学成分

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采用多靶磁控溅射与氮等离子体基离子注入技术制备了多元(ZrTANbTiW)N薄膜,对薄膜的组织结构及硬度进行了研究.结果表明:薄膜的化学成分主要受到样品距靶距离的影响:ZrTANbTiW合金薄膜为非晶或体心立方结构,而其(ZrTANbTiW)N氮化物薄膜由体心立方与面心立方固溶体结构组成;氮离子注入后样品的硬度与弹性模量都有较大程度的提高且最大硬度与弹性模量达到了9.8和149.1GPa.

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