中国半导体工厂高纯气体的应用状况

来源 :第十八届国际污染控制学术会议 | 被引量 : 0次 | 上传用户:xiaotao_8730
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高纯气体广泛应用于电子产品--半导体集成电路、TFT-LCD电真空器件、光电器件和光导纤维等生产过程,但是半导体集成电路生产所需高纯气体的品种多、用量较大、纯度和杂质含量要求十分严格,本文根据多年的工程实践,结合近年来我国一批新建半导体集成电路工厂建成投产情况,对我国半导体高纯气体的应用状况进行描述。
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