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该文研究了直拉硅单晶氧含量与拉晶埚位的关系。埚位高，单晶头部氧含量较高；埚位低，单晶头部氧含量较低。
拉晶埚位对直拉硅单晶氧含量的影响
【摘 要】
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该文研究了直拉硅单晶氧含量与拉晶埚位的关系。埚位高，单晶头部氧含量较高；埚位低，单晶头部氧含量较低。
【机 构】
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有色金属研究总院半导体材料工程研究中心
【出 处】
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1998年全国半导体硅材料学术会议
【发表日期】
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1998年期
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