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该文生要研究封闭式热场（Ｃｌｏｓｅ Ｈｏｔ Ｚｏｎｅ）对晶体纵向氧含量的影响。并与敞开式热场（Ｏｐｅｎ Ｈｏｔ Ｚｏｎｅ）进行了比较，再通过适当调节熔料功率、埚位、埚转等工艺条件参数，拉制出Φ１５０ｍｍ低氧硅单晶（氧含量：２０～２８ｐｐｍａ）。
封闭式热场对晶体纵向氧含量的影响
【摘 要】
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该文生要研究封闭式热场（Ｃｌｏｓｅ Ｈｏｔ Ｚｏｎｅ）对晶体纵向氧含量的影响。并与敞开式热场（Ｏｐｅｎ Ｈｏｔ Ｚｏｎｅ）进行了比较，再通过适当调节熔料功率、埚位、埚转等工艺条件参数，拉制出Φ１５０ｍｍ低氧硅单晶（氧含量：２０～２８ｐｐｍａ）。
【机 构】
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硅材料厂
【出 处】
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1998年全国半导体硅材料学术会议
【发表日期】
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1998年期
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