【摘 要】
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在纳米结构的检测与表征领域中,温度是影响纳米尺度测量精度的重要误差源。为此,根据测量材料的热物性和空气折射率与光学测量的关系,以计量型原子力显微镜和大范围纳米测量
【机 构】
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中国计量科学研究院,北京 100013
【出 处】
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2009年全国几何量精密测量技术学术交流会
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在纳米结构的检测与表征领域中,温度是影响纳米尺度测量精度的重要误差源。为此,根据测量材料的热物性和空气折射率与光学测量的关系,以计量型原子力显微镜和大范围纳米测量机为例,首先通过设计高精度多点测温系统进行精密的温度测量,分析估计在扫描测量纳米结构过程中温度变化对其测量结果的影响。其次对纳米测量中温度测量的相关技术问题进行了研究,以保证纳米表征和检测在纳米尺度及其量值上的准确性。
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