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本文介绍了利用静态膨胀法真空装置和残余气体四极质谱计校准标准漏孔的方法,通过实验验证了该方法的可行性,并给出了该装置测量范围(10<-5>~10<-7>)Pa.m<3>/s,装置的最佳校准能力小于3.0﹪(k=2).
利用静态膨胀法真空装置和质谱计校准标准漏孔
【摘 要】
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本文介绍了利用静态膨胀法真空装置和残余气体四极质谱计校准标准漏孔的方法,通过实验验证了该方法的可行性,并给出了该装置测量范围(10~10)Pa.m/s,装置的最佳校准能力小于3.
【机 构】
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上海市计量测试技术研究院(上海)
【出 处】
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2004中国真空学会真空获得与测量学术交流会
【发表日期】
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2004年期
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