【摘 要】
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采用大直径台面，通过改进钝化、侧向氧化、散热等关键工艺技术，研制出具有高功率输出的垂直腔面发射激光器。直径 700 微米器件连续输出功率达到 1.68W，是目前所见报道中最高的。在不加水冷散热时，大电流连续工作时导致的有源区温度升高使激射波长从刚超过阈值时的 982.3nm 红移到 6A 电流工作时的 986.4nm。大直径台面使有源区中电流分布不均匀，形成环形激射。随着电流的增大，远场环形中心部
【机 构】
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中国科学院长春光学精密机械与物理研究所,长春,130033 中国科学院物理研究所,光物理重点实验室
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采用大直径台面，通过改进钝化、侧向氧化、散热等关键工艺技术，研制出具有高功率输出的垂直腔面发射激光器。直径 700 微米器件连续输出功率达到 1.68W，是目前所见报道中最高的。在不加水冷散热时，大电流连续工作时导致的有源区温度升高使激射波长从刚超过阈值时的 982.3nm 红移到 6A 电流工作时的 986.4nm。大直径台面使有源区中电流分布不均匀，形成环形激射。随着电流的增大，远场环形中心部分强度增大。电流超过 3A 后，远场形成圆形对称光斑，发散角半宽 10.2°，获得单横模工作。在脉冲宽度 1.5 微秒、重复频率 2.5kHz 条件下，直径 300、500 和 700μm 器件的峰值输出功率分别达到 4.1W、7.2W 和 15.7W。
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