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简要介绍了了氧离子注入机ＥＣＲ离子源系统，重点定性地分析了磁控管阳极电源的工作原理，并提出了改正意见。
微波ＥＣＲ离子源电源及调试
【摘 要】
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简要介绍了了氧离子注入机ＥＣＲ离子源系统，重点定性地分析了磁控管阳极电源的工作原理，并提出了改正意见。
【机 构】
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产业部电子第48研究所(长沙)
【出 处】
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第十届全国电子束、离子束、光子束学术年会
【发表日期】
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1999年期
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