【摘 要】
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利用激光脉冲沉积法在钛酸锶SrTiO(001)斜切基片上外延生长YBaCuO薄膜,斜切方向是沿(001)面向[010]方向.在大气、室温条件下,采用扫描探针显微镜(SPM)对YBaCuO薄膜的表面形貌
【机 构】
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东北大学机械工程与自动化学院(沈阳)
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利用激光脉冲沉积法在钛酸锶SrTiO<,3>(001)斜切基片上外延生长YBa<,2>Cu<,3>O<,7-δ>薄膜,斜切方向是沿(001)面向[010]方向.在大气、室温条件下,采用扫描探针显微镜(SPM)对YBa<,2>Cu<,3>O<,7-δ>薄膜的表面形貌进行观测.SPM清晰地观察到了YBa<,2>Cu<,3>O<,7-δ>薄膜的纳米台阶状表面形貌,同时每一台阶又是由若干条更细小的亚台阶组成.可见,SPM将是在大气条件下直接观察外延生长YBa<,2>Cu<,3>O<,7-δ>薄膜生长机理的重要研究手段.
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