飞秒激光加工硅的分子动力学模拟

来源 :中国物理学会2013年秋季学术会议 | 被引量 : 0次 | 上传用户:xiaoshancx
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  飞秒激光具有长脉冲激光所不具备的能量密度高以及加工过程几乎无热效应等优点,是微细加工领域最有效的加工方法之一[1]。
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