【摘 要】
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现代科技的发展对增反膜提出的要求越来越高,具体表现在两个方面:一是要求在现有基础上进一步提高反射率,拓宽高反膜带宽,二是将获得高反膜的波长向短波方向延伸至真空紫外-x
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现代科技的发展对增反膜提出的要求越来越高,具体表现在两个方面:一是要求在现有基础上进一步提高反射率,拓宽高反膜带宽,二是将获得高反膜的波长向短波方向延伸至真空紫外-x 射线。本文在回顾经典高反膜设计方法的基础上,总结了近年来出现的一些新的增反膜设计方法, 给出了各种方法的设计思路和一般步骤,尤以真空紫外-X射线反射膜设计为重点。对增反膜设计、制作过程中尚存的一些重大问题也进行了阐述。
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