论文部分内容阅读
采用常压烧结方法制备高致密度低电阻率的W-Ti 共掺杂ZnO 陶瓷靶材（WTZO）并研究了其相关特性；通过研究烧结温度（~800℃-1350℃）对WTZO 靶材微观结构和电学特性的影响，优化获得了最佳烧结曲线。所有实验靶材经烧结后为ZnO 纤锌矿结构，同时伴有微量ZnWO4 和Zn2TiO4 相生成；随着烧结温度升高，靶材的相对致密度呈现先增长后稳定的趋势，其最大值达到94.3％，而方块电阻呈现递减趋势，其最小值为12.18Ω/□。