CuPc/ZnO混杂复合膜NO气敏特性及机理研究

来源 :第六届全国敏感元件与传感器学术会议 | 被引量 : 0次 | 上传用户:xaly001
下载到本地 , 更方便阅读
声明 : 本文档内容版权归属内容提供方 , 如果您对本文有版权争议 , 可与客服联系进行内容授权或下架
论文部分内容阅读
该文采用真空镀膜工艺制备出了CuPc/ZnO混杂复合NO<,x>气敏膜,并进行了相应气敏特性测试研究。结果表明CuPc/ZnO混杂复合膜具有良好的NO<,x>气体敏感特性,选择性及响应特性,并且电阻率比纯酞菁铜膜降低了三至四个数量级,为二次仪表配置提供了方便。对CuPc/ZnO混杂复合膜的敏感机理进行了研究,采用结构分析及半导体原理对一些实验现象作出了解释。
其他文献
鞍钢烧结厂采用幕帘式点火技术取代气氛点火技术,同时采用先进的炉体结构和控制技术,使炉体寿命大幅度提高,能耗降低、烧结矿产量和质量明显提高。
该文研究了利用常用的酸性染料甲基橙(MO)与氯化十六烷基吡啶(CPC)的变色反应,以及阴离子表面活性剂与CPC的缔合反应,建立了FI-光度法测定水中阴离子表面活性剂的分析方法。此方法不仅无需有机溶剂萃取,操作方便,而且将FI技术与光度分析法联用,使测定阴离子两面活性剂的分析方法向自动化方向迈了一大步。
利用吸将Rh6G固定在阳离子交换树脂上,制得一个基于化学发光测定VK的传感器。此传感器响应速度快,单次测定可在一分钟内完成。有它测定药剂中的VK结果令人满意。
该文根据压力-温度多功能传感器信号输出的特点,研制出了与压力-温度多功能传感器相配套的智能化压力-温度测量仪表。仪表以单片杨为核心,可在全量程的温度范围(0~200℃)内对压力敏感元件随温度变化而产生的零漂及灵敏度漂移进行补偿。从而可以在较高温的环境下实现对压力的精确测量。仪表能够实时的显示温度和压力测量的结果,并具有和PC通信的功能。
采用厚膜工艺将厚膜NTC热敏电阻和高分子湿敏电阻制作在同一基片上构成一体温湿度传感器,它具有体积小、响应速度快、测试精度高和易于集成化等特点。该文介绍了该传感器的设计原理、制作工艺、温湿度特性及影响因素,讨论了根据湿度传感器的温度漂移来调整负热敏电阻的参数,对湿度传感器进行温度补偿,从而提高了湿度测量精度。
该文给出了将IC工艺与LIGA工艺相结合,在硅基材料上以镍金属为结构材料制作高性能微加速度传感器的研究结果。由于采用了金属材料,器件在较小的尺寸下可获得较高的灵敏度。采用特殊的结构形式,可使器件处于最佳阻尼状态。制作过程主要包括厚胶光学光刻,淀积电镀种子层,电化学淀积牺牲层、X射线掩模制作、X射线曝光等。