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该文采用真空镀膜工艺制备出了CuPc/ZnO混杂复合NO<,x>气敏膜,并进行了相应气敏特性测试研究。结果表明CuPc/ZnO混杂复合膜具有良好的NO<,x>气体敏感特性,选择性及响应特性,并且电阻率比纯酞菁铜膜降低了三至四个数量级,为二次仪表配置提供了方便。对CuPc/ZnO混杂复合膜的敏感机理进行了研究,采用结构分析及半导体原理对一些实验现象作出了解释。