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为了大幅度降低成本,真正实现太阳能电池的大规模应用,设计出一种新颖的薄膜电池,即在廉价的陶瓷衬底上沉积多晶硅薄膜制作的太阳电池.本文介绍了制作这一电池的完整工艺流程,摸索出合适的工艺参数,解决了在异质衬底上生长大晶粒多晶硅薄膜和表面电极引出的问题,实验取得了令人满意的结果.
陶瓷衬底多晶硅薄膜太阳能电池工艺
【摘 要】
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为了大幅度降低成本,真正实现太阳能电池的大规模应用,设计出一种新颖的薄膜电池,即在廉价的陶瓷衬底上沉积多晶硅薄膜制作的太阳电池.本文介绍了制作这一电池的完整工艺
【机 构】
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清华大学,北京,100084
【出 处】
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第十三届全国高技术陶瓷学术年会
【发表日期】
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2004年期
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