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通过棱镜耦合激发非对称金属包覆介质波导结构中的TE0 导波模式，利用两束TE0模的干涉从理论上实现了周期可调的亚波长光栅刻写。分析了TE0 模式的色散关系，刻写亚波长光栅的周期与激发光源、棱镜折射率、光刻胶薄膜厚度及折射率之间的关系。
TE0导模干涉刻写周期可调亚波长光栅理论研究
【摘 要】
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通过棱镜耦合激发非对称金属包覆介质波导结构中的TE0 导波模式，利用两束TE0模的干涉从理论上实现了周期可调的亚波长光栅刻写。分析了TE0 模式的色散关系，刻写亚波长光栅的周期与激发光源、棱镜折射率、光刻胶薄膜厚度及折射率之间的关系。
【机 构】
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兰州理工大学
【出 处】
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2016年全国光机电技术及系统学术会议暨中国光学学会光电技术专委会/中国仪器仪表学会光机电分会会员代表大会
【发表日期】
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2016年3期
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