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以微波混合电路常用的TiW-Au膜系作种子层,以光刻胶作掩模电镀金镀层。利用台阶仪测试了整个样品不同位置及同一位置附近区域的镀层厚度,并用扫描电镜观察镀层横截面形貌。发现水平方向上的镀层厚度不均匀,分析了产生这种现象的原因并提出一种解决方案,镀层厚度的均匀性得到提高。
微波混合电路制作中掩模电镀金镀层均匀性的研究
【摘 要】
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以微波混合电路常用的TiW-Au膜系作种子层,以光刻胶作掩模电镀金镀层。利用台阶仪测试了整个样品不同位置及同一位置附近区域的镀层厚度,并用扫描电镜观察镀层横截面形貌。发
【机 构】
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中国电子科技集团公司第四十一研究所;
【发表日期】
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2013年期
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